共 50 条
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基板処理装置、基板を処理する方法及び処理加工物を製造する方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200528861
申请日：
2018-11-27
公开(公告)号：
JP2021504958A
公开(公告)日：
2021-02-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
C23C14/50
C23C14/52
C23C16/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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