共 50 条
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イオン源及びイオン注入装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20180525804
申请日：
2017-12-27
公开(公告)号：
JPWO2018185987A1
公开(公告)日：
2019-04-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J37/08
IPC分类号：
H01J27/02
H01J37/317
H01L21/265
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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