強誘電体材料、強誘電体材料を含むMEMSコンポーネント、第1のMEMSコンポーネントを備えるMEMSデバイス、MEMSコンポーネントを製造する方法、及びCMOS対応MEMSコンポーネントを製造する方法[ja]

被引:0
申请号
JP20200572614
申请日
2019-03-13
公开(公告)号
JP2021520074A
公开(公告)日
2021-08-12
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L41/187
IPC分类号
H01L41/047 H01L41/083 H01L41/09 H01L41/113 H01L41/257 H01L41/311
代理机构
代理人
法律状态
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