共 50 条
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真空処理装置及び有機薄膜形成方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20120535030
申请日：
2011-09-20
公开(公告)号：
JPWO2012039383A1
公开(公告)日：
2014-02-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H05B33/10
IPC分类号：
C23C14/12
C23C14/24
C23C14/56
H01L51/50
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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