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レジスト層の薄膜化装置[ja]
被引:0
申请号
:
JP20160004850U
申请日
:
2016-10-06
公开(公告)号
:
JP3208034U
公开(公告)日
:
2016-12-15
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H05K3/06
IPC分类号
:
G03F7/38
H01L21/027
H05K3/18
H05K3/28
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 25 条
[1]
金属含有フォトレジストのリワーク[ja]
[P].
日本专利
:JP2024530605A
,2024-08-23
[2]
メタタングステン酸塩化合物の製造方法、レジスト用メタタングステン酸塩化合物、及び、レジスト材料[ja]
[P].
NODA KUNIHIRO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
NODA KUNIHIRO
;
INARI TAKATOSHI
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
INARI TAKATOSHI
;
NISHIZAWA AKITO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
NISHIZAWA AKITO
;
NAGATA MASAYA
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
NAGATA MASAYA
.
日本专利
:JP2025022617A
,2025-02-14
[3]
ポリマーとステンレス鋼の接合体のためのステンレス鋼の表面処理方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7272706B1
,2023-05-12
[4]
反射防止膜層のウェット剥離方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2016513884A
,2016-05-16
[5]
アスベスト含有材料の生化学的変性のための方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2017514689A
,2017-06-08
[6]
層状複水酸化物の製造装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2025141323A
,2025-09-29
[7]
スカンジウム化合物の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2025154772A
,2025-10-10
[8]
スカンジウム化合物の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2025154769A
,2025-10-10
[9]
ガラス基板のエッジを強化する方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2017503745A
,2017-02-02
[10]
プロアントシアニジンオリゴマーの製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2006090830A1
,2008-07-24
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