化合物、酸発生剤、重合体、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20170112575

申请日：

2017-06-07

公开(公告)号：

JP6857086B2

公开(公告)日：

2021-04-14

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C07C309/23

IPC分类号：

C07C303/22 C07C309/24 C07C381/12 C08F12/30 C08F20/38 C09K3/00 G03F7/004 G03F7/038 G03F7/039

代理机构：

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法律状态：

国省代码：

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共 50 条

[1]

化合物、酸発生剤、重合体、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6857085B2 ,2021-04-14

[2]

化合物、酸発生剤、重合体、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6916672B2 ,2021-08-11

[3]

化合物、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6665030B2 ,2020-03-13

[4]

化合物、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6665031B2 ,2020-03-13

[5]

化合物、酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6695207B2 ,2020-05-20

[6]

レジスト組成物、レジストパターン形成方法、化合物、酸発生剤及び化合物の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7407524B2 ,2024-01-04

[7]

レジスト組成物、レジストパターン形成方法、酸発生剤及び化合物[ja] [P].

日本专利 :JP6482344B2 ,2019-03-13

[8]

レジスト組成物、レジストパターン形成方法、化合物及び酸発生剤[ja] [P].

FUJIMOTO YUKI .

日本专利 :JP2025080485A ,2025-05-26

[9]

レジスト組成物、レジストパターン形成方法、化合物、及び酸発生剤[ja] [P].

日本专利 :JP2025138306A ,2025-09-25

[10]

レジスト組成物、レジストパターン形成方法、酸発生剤及び化合物[ja] [P].

日本专利 :JP6518475B2 ,2019-05-22

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