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化合物、酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160090667
申请日：
2016-04-28
公开(公告)号：
JP6695207B2
公开(公告)日：
2020-05-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07C309/70
IPC分类号：
C08F20/38
C09K3/00
G03F7/004
G03F7/038
G03F7/039
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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