共 50 条
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レジスト組成物、レジストパターン形成方法、酸発生剤及び化合物[ja]
被引：0
申请号：
JP20150061353
申请日：
2015-03-24
公开(公告)号：
JP6482344B2
公开(公告)日：
2019-03-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/004
IPC分类号：
C07D285/16
C07D313/10
C07D327/04
C07D333/52
G03F7/038
G03F7/039
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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