電子ビームプラズマプロセスにより形成されるダイヤモンドライクカーボン層[ja]

被引:0
申请号
JP20180567641
申请日
2017-06-01
公开(公告)号
JP2019521253A
公开(公告)日
2019-07-25
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/27
IPC分类号
C23C16/507 C23C16/509 C23C16/56 H01L21/3065
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
[3]
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[5]
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[7]
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[8]
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DAVID FENWICK ;
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[9]
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[10]