静電クランプによるリモートプラズマ堆積[ja]

被引：0

申请号：

JP20240517030

申请日：

2022-09-15

公开(公告)号：

JP2024538526A

公开(公告)日：

2024-10-23

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/31

IPC分类号：

C23C16/42 C23C16/455 C23C16/458 H01L21/318

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

プラズマ堆積方法[ja] [P].

日本专利 :JP2019512601A ,2019-05-16

[2]

アモルファスシリコンのリモート容量結合プラズマ堆積[ja] [P].

日本专利 :JP2021519510A ,2021-08-10

[3]

原子層堆積による多層耐プラズマ性コーティング[ja] [P].

WU XIAOWEI ;

DAVID FENWICK ;

SUN JENNIFER Y ;

ZHAN GUODONG .

日本专利 :JP2022046471A ,2022-03-23

[4]

電子ビームプラズマプロセスにより形成されるダイヤモンドライクカーボン層[ja] [P].

日本专利 :JP2019521253A ,2019-07-25

[5]

ポリマーを形成するためのプラントおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP2015521692A ,2015-07-30

[6]

ポリマーを形成するためのプラント及びプロセス[ja] [P].

日本专利 :JP2024542263A ,2024-11-13

[7]

メルカプトシラン−ポリマー混合物[ja] [P].

日本专利 :JP2016509115A ,2016-03-24

[8]

メルカプトシラン−ポリマー混合物[ja] [P].

日本专利 :JP6335933B2 ,2018-05-30

[9]

包装のためのプラズマにより作製されるバリア[ja] [P].

日本专利 :JP2025519553A ,2025-06-26

[10]

プラズマ噴射装置および方法[ja] [P].

日本专利 :JP2020537712A ,2020-12-24

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