原子層堆積による多層耐プラズマ性コーティング[ja]

被引：0

申请号：

JP20210195192

申请日：

2021-12-01

公开(公告)号：

JP2022046471A

公开(公告)日：

2022-03-23

发明(设计)人：

WU XIAOWEI DAVID FENWICK SUN JENNIFER Y ZHAN GUODONG

申请人：

APPLIED MATERIALS INC

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C16/40

IPC分类号：

C23C28/04 H01L21/3065 H01L21/31

代理机构：

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共 50 条

[1]

耐プラズマ多層コーティングおよびそれを調製する方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022505703A ,2022-01-14

[2]

原子層堆積リソグラフィ[ja] [P].

日本专利 :JP2015515641A ,2015-05-28

[3]

原子層堆積法で堆積させた耐浸食性金属酸化物コーティング[ja] [P].

日本专利 :JP3224064U ,2019-11-21

[4]

原子層堆積法で堆積させた耐浸食性金属フッ化物コーティング[ja] [P].

日本专利 :JP3224084U ,2019-11-21

[5]

原子層堆積法で堆積させた耐浸食性金属フッ化物コーティング[ja] [P].

WU XIAOWEI ;

SUN JENNIFER Y ;

MICHAEL R RICE .

日本专利 :JP2024116282A ,2024-08-27

[6]

静電クランプによるリモートプラズマ堆積[ja] [P].

日本专利 :JP2024538526A ,2024-10-23

[7]

多層ＰＶＤコーティングを有する切削工具[ja] [P].

日本专利 :JP2018501408A ,2018-01-18

[8]

光輝コート層を含む多層コーティングの生成方法及び前記方法で得られる多層コーティング[ja] [P].

日本专利 :JP2022543368A ,2022-10-12

[9]

プラズマ耐食性希土類酸化物系薄膜コーティング[ja] [P].

日本专利 :JP2016528380A ,2016-09-15

[10]

耐食性コーティング[ja] [P].

日本专利 :JP2023539701A ,2023-09-15

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