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イオン注入システムにおける発泡体[ja]
被引:0
申请号
:
JP20210512411
申请日
:
2019-08-27
公开(公告)号
:
JP2021535572A
公开(公告)日
:
2021-12-16
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H01J37/317
IPC分类号
:
H01J37/20
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
イオン注入における注入に誘導される損傷制御[ja]
[P].
日本专利
:JP2015533012A
,2015-11-16
[2]
イオン注入システム、イオン注入装置及び抽出プレート[ja]
[P].
日本专利
:JP7046175B2
,2022-04-01
[3]
イオン注入システム、イオン注入装置及び抽出プレート[ja]
[P].
日本专利
:JP2021501963A
,2021-01-21
[4]
イオン注入装置におけるデュアルモード動作用のシステム、及びイオン注入装置を動作させる方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6607851B2
,2019-11-20
[5]
イオン注入装置およびイオンを注入する方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2015503188A
,2015-01-29
[6]
イオン注入方法およびイオン注入装置[ja]
[P].
日本专利
:JP7602923B2
,2024-12-19
[7]
イオン注入装置およびイオン注入方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7242469B2
,2023-03-20
[8]
イオン注入方法およびイオン注入装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5904895B2
,2016-04-20
[9]
イオン注入方法およびイオン注入装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6831245B2
,2021-02-17
[10]
イオン注入方法およびイオン注入装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5941377B2
,2016-06-29
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