イオン注入システムにおける発泡体[ja]

被引:0
申请号
JP20210512411
申请日
2019-08-27
公开(公告)号
JP2021535572A
公开(公告)日
2021-12-16
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01J37/317
IPC分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
イオン注入における注入に誘導される損傷制御[ja] [P]. 
日本专利 :JP2015533012A ,2015-11-16
[5]
イオン注入装置およびイオンを注入する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2015503188A ,2015-01-29
[6]
イオン注入方法およびイオン注入装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7602923B2 ,2024-12-19
[7]
イオン注入装置およびイオン注入方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7242469B2 ,2023-03-20
[8]
イオン注入方法およびイオン注入装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5904895B2 ,2016-04-20
[9]
イオン注入方法およびイオン注入装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6831245B2 ,2021-02-17
[10]
イオン注入方法およびイオン注入装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5941377B2 ,2016-06-29