共 50 条
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基板冷却装置及び基板冷却方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20180190938
申请日：
2018-10-09
公开(公告)号：
JP7269713B2
公开(公告)日：
2023-05-09
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/027
H01L21/324
H01L21/677
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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