共 50 条
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冷却装置、基板処理装置、冷却方法、および基板処理方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20210042062
申请日：
2021-03-16
公开(公告)号：
JP7066892B2
公开(公告)日：
2022-05-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
F25D11/00
F25D13/00
H01L21/3065
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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