共 50 条
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基板処理装置および基板処理方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20080505019
申请日：
2007-02-21
公开(公告)号：
JPWO2007105431A1
公开(公告)日：
2009-07-30
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/205
IPC分类号：
C23C16/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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