共 50 条
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基板冷却装置および基板冷却方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20190173455
申请日：
2019-09-24
公开(公告)号：
JP6954334B2
公开(公告)日：
2021-10-27
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
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法律状态
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