薄膜トランジスタ基板の製造方法及び薄膜トランジスタ基板[ja]

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申请号
JP20150533940
申请日
2014-05-20
公开(公告)号
JPWO2015029286A1
公开(公告)日
2017-03-02
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L29/786
IPC分类号
H01L21/28 H01L21/336 H01L21/768 H01L23/522 H01L29/417
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[2]
薄膜トランジスタ基板及び薄膜トランジスタの製造方法[ja] [P]. 
TANAKA ATSUSHI ;
TAKECHI KAZUE .
日本专利 :JP2024092934A ,2024-07-08
[3]
薄膜トランジスタ基板及び製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012096154A1 ,2014-06-09
[4]
薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ[ja] [P]. 
SAKAI TOSHIHIKO ;
HIGASHI DAISUKE ;
FUJIWARA MASAYOSHI .
日本专利 :JP2025074478A ,2025-05-14
[5]
薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2010047326A1 ,2012-03-22
[6]
[7]
[8]
薄膜トランジスタ基板[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017073097A1 ,2018-02-08
[9]
薄膜トランジスタ基板[ja] [P]. 
TAKECHI KAZUE .
日本专利 :JP2024077347A ,2024-06-07