成膜装置、及びそれを用いた金属膜の形成方法[ja]

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申请号
JP20190011156
申请日
2019-01-25
公开(公告)号
JP7092056B2
公开(公告)日
2022-06-28
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C25D17/00
IPC分类号
H01B1/06
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
金属膜の形成方法及び成膜装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7080111B2 ,2022-06-03
[3]
金属膜及び金属膜の形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6304681B2 ,2018-04-04
[4]
成膜装置及びそれを用いた成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6709005B2 ,2020-06-10
[5]
金属膜形成装置及び金属膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018088536A1 ,2019-10-10
[6]
成膜装置及びそれを用いた成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5903666B2 ,2016-04-13
[7]
成膜装置及びそれを用いた成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012057128A1 ,2014-05-12
[8]
金属膜及びその成膜方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7631727B2 ,2025-02-19
[9]
金属膜形成用組成物および金属膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6953006B2 ,2021-10-27
[10]
金属膜形成用組成物および金属膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7175532B2 ,2022-11-21