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成膜装置、及びそれを用いた金属膜の形成方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20190011156
申请日
:
2019-01-25
公开(公告)号
:
JP7092056B2
公开(公告)日
:
2022-06-28
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
C25D17/00
IPC分类号
:
H01B1/06
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
金属膜の形成方法及び成膜装置[ja]
[P].
日本专利
:JP7080111B2
,2022-06-03
[2]
金属膜の形成方法、金属膜の形成装置および金属膜を用いた電子製品[ja]
[P].
日本专利
:JP2022122700A
,2022-08-23
[3]
金属膜及び金属膜の形成方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6304681B2
,2018-04-04
[4]
成膜装置及びそれを用いた成膜方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6709005B2
,2020-06-10
[5]
金属膜形成装置及び金属膜形成方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2018088536A1
,2019-10-10
[6]
成膜装置及びそれを用いた成膜方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5903666B2
,2016-04-13
[7]
成膜装置及びそれを用いた成膜方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2012057128A1
,2014-05-12
[8]
金属膜及びその成膜方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7631727B2
,2025-02-19
[9]
金属膜形成用組成物および金属膜形成方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6953006B2
,2021-10-27
[10]
金属膜形成用組成物および金属膜形成方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7175532B2
,2022-11-21
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