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プラズマ耐食性希土類酸化物系薄膜コーティング[ja]
被引：0
申请号：
JP20160521573
申请日：
2014-06-19
公开(公告)号：
JP6496308B2
公开(公告)日：
2019-04-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/08
IPC分类号：
C23C4/11
C23C14/48
C23C28/04
H01L21/3065
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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