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重合体、ポジ型レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200508206
申请日：
2019-03-08
公开(公告)号：
JPWO2019181582A1
公开(公告)日：
2021-04-01
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C08F220/12
IPC分类号：
G03F7/039
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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