共 50 条
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プラズマエッチングチャンバーと、これを用いたプラズマエッチングシステム[ja]
被引：0
申请号：
JP20040571595
申请日：
2003-11-18
公开(公告)号：
JPWO2004100247A1
公开(公告)日：
2006-07-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
C23F1/00
H01J37/32
H01L21/02
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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