キャリアプレートおよび円盤状基板の製造方法、円盤状基板の両面加工装置[ja]

被引:0
申请号
JP20120137764
申请日
2012-06-19
公开(公告)号
JP5613723B2
公开(公告)日
2014-10-29
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G11B5/84
IPC分类号
B24B37/08 B24B37/28
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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