共 50 条
[41]
[42]
[43]
[44]
[45]
[46]
[47]
[48]
[49]
[50]
レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20220007862
申请日：
2022-01-21
公开(公告)号：
JP2022048236A
公开(公告)日：
2022-03-25
发明(设计)人：
MASUYAMA TATSURO
ICHIKAWA KOJI
申请人：
SUMITOMO CHEMICAL CO
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/038
IPC分类号：
G03F7/004
G03F7/039
G03F7/20
G03F7/32
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |