基板保持装置、基板処理装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20120142650

申请日：

2012-06-26

公开(公告)号：

JP6007004B2

公开(公告)日：

2016-10-12

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

C23C14/56 H01J37/317

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法律状态信息

共 50 条

[1]

基板処理装置、基板保持装置及び基板保持方法[ja] [P].

KUNUGI YUJI ;

SASAKI YOSHIHIKO ;

SAITO HITOSHI .

日本专利 :JP2024014680A ,2024-02-01

[2]

基板保持方法、基板保持装置、処理方法及び処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP6568781B2 ,2019-08-28

[3]

基板保持装置及び基板処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP7383147B2 ,2023-11-17

[4]

基板保持装置、及び基板処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP7564586B1 ,2024-10-09

[5]

基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja] [P].

日本专利 :JP6875357B2 ,2021-05-26

[6]

基板処理装置、基板保持装置、および、基板保持方法[ja] [P].

日本专利 :JP5877005B2 ,2016-03-02

[7]

基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025127534A ,2025-09-02

[8]

基板保持装置および基板処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP7104531B2 ,2022-07-21

[9]

基板保持装置および基板処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP7534084B2 ,2024-08-14

[10]

基板処理装置および基板保持装置[ja] [P].

日本专利 :JP6978840B2 ,2021-12-08

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