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基板保持装置及び基板処理装置[ja]

被引：0
申请号：
JP20220527277
申请日：
2020-05-25
公开(公告)号：
JP7383147B2
公开(公告)日：
2023-11-17
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
基板処理装置、基板保持装置及び基板保持方法[ja] [P]. 
KUNUGI YUJI ;
SASAKI YOSHIHIKO ;
SAITO HITOSHI .
日本专利 :JP2024014680A ,2024-02-01
[2]
基板保持装置、及び基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7564586B1 ,2024-10-09
[3]
基板保持方法、基板保持装置、処理方法及び処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6568781B2 ,2019-08-28
[4]
基板保持装置、基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6007004B2 ,2016-10-12
[5]
基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6875357B2 ,2021-05-26
[6]
基板処理装置、基板保持装置、および、基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5877005B2 ,2016-03-02
[7]
基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025127534A ,2025-09-02
[8]
基板保持装置および基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7104531B2 ,2022-07-21
[9]
基板保持装置および基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7534084B2 ,2024-08-14
[10]
基板処理装置および基板保持装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6978840B2 ,2021-12-08
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