最適化されたゲート酸化物厚さを有するメモリデバイスの作成[ja]

被引:0
申请号
JP20170210692
申请日
2017-10-31
公开(公告)号
JP6932876B2
公开(公告)日
2021-09-08
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/8234
IPC分类号
H01L21/308 H01L21/316 H01L21/82 H01L27/088 H01L27/10 H10B20/00 H10B69/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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