半導体装置用部材とその製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20060553861
申请日
2006-01-11
公开(公告)号
JPWO2006077755A1
公开(公告)日
2008-06-19
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L23/373
IPC分类号
H01L23/02
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
冷却板、その製法及び半導体製造装置用部材[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014156543A1 ,2017-02-16
[2]
冷却板、その製法及び半導体製造装置用部材[ja] [P]. 
日本专利 :JP5666749B1 ,2015-02-12
[3]
冷却板、その製法及び半導体製造装置用部材[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014141974A1 ,2017-02-16
[4]
冷却板、その製法及び半導体製造装置用部材[ja] [P]. 
日本专利 :JP5666748B1 ,2015-02-12
[5]
部材と、部材の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025149759A ,2025-10-08
[6]
半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2008007732A1 ,2009-12-10
[7]
半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2007069299A1 ,2009-05-21
[8]
摺動部材用銅合金、鋳造体、摺動部材とその製造方法[ja] [P]. 
SHISHIDO RYO ;
YAMADA HIROSHI ;
OTSUKA TATSUYA .
日本专利 :JP2024170676A ,2024-12-10
[9]
半導体装置及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2008105535A1 ,2010-06-03
[10]
半導体装置の製造方法及び半導体装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2006109506A1 ,2008-10-23