共 50 条
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検査治具、検査システム、検査方法、および検査治具および検査システムを使用して被加工物を検査するためのコンピュータプログラム製品[ja]
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日本专利 :JP2025178172A ,2025-12-05
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機械加工された壁を有するチャンバ本体、機械加工された壁を有するチャンバ本体を有するチャンバ構成および半導体加工システム、およびチャンバ本体を製造する製造方法[ja]
[P].
日本专利 :JP2025076366A ,2025-05-15
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