基板、及びその製造方法[ja]

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申请号
JP20090546201
申请日
2008-11-26
公开(公告)号
JPWO2009078255A1
公开(公告)日
2011-04-28
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/288
IPC分类号
C23C14/06 C23C18/18 C23C18/38 C23C28/00 H01L21/28 H01L21/285 H01L21/3205 H01L23/52
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
基板、及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2009078254A1 ,2011-04-28
[3]
複合基板およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014038694A1 ,2016-08-12
[4]
複合基板およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014192873A1 ,2017-02-23
[5]
永久磁石及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2004013872A1 ,2006-09-21
[6]
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[7]
触媒及びその製造方法ならびにその用途[ja] [P]. 
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[8]
多層構造体及びその製造方法[ja] [P]. 
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[9]
半導体装置及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2006016678A1 ,2008-05-01
[10]
半導体装置及びその製造方法[ja] [P]. 
SHIN ILGYOU ;
NOH HYUNHO ;
HONG SANGHYUN ;
KIM SANG-YONG ;
KIM HYUNG-JUN .
日本专利 :JP2024063766A ,2024-05-13