ダイヤモンド基板及びダイヤモンド基板の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20170532561
申请日
2016-07-29
公开(公告)号
JPWO2017022647A1
公开(公告)日
2018-05-31
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C30B29/04
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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[2]
[3]
[4]
ダイヤモンド製膜用下地基板及びそれを用いたダイヤモンド基板の製造方法[ja] [P]. 
NOGUCHI HITOSHI ;
MAKINO TOSHIHARU ;
OGURA MASAHIKO ;
KATO HIROMITSU ;
KAWASHIMA HIROYUKI ;
YAMAZAKI SATOSHI ;
TOKUDA NORIO .
日本专利 :JP2022109306A ,2022-07-27
[7]
ダイヤモンド基板及びその製造方法並びにセンサー[ja] [P]. 
NOGUCHI HITOSHI ;
MAKINO TOSHIHARU ;
OGURA MASAHIKO ;
KATO HIROMITSU ;
HARUYAMA MORIYOSHI ;
KAJIYAMA KENICHI ;
KAINUMA YUTA ;
HATANO YUJI ;
IWASAKI TAKAYUKI ;
HATANO MUTSUKO .
日本专利 :JP2025076971A ,2025-05-16
[9]
基板製造方法及び基板製造装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013008590A1 ,2015-02-23
[10]
基板製造装置及び基板製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013015157A1 ,2015-02-23