ケイ素含有膜の堆積のためのシラシクロアルカンを含む組成物及びその組成物を使用する方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20220504645

申请日：

2020-07-24

公开(公告)号：

JP2022542582A

公开(公告)日：

2022-10-05

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/318

IPC分类号：

C23C16/42 H01L21/316 H01L21/471

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法律状态信息

共 50 条

[1]

組成物、及びケイ素含有膜の堆積のための組成物を使用する方法[ja] [P].

日本专利 :JP2021527331A ,2021-10-11

[2]

組成物、及びケイ素含有膜の堆積のための組成物を使用する方法[ja] [P].

ROBERT G RIDGEWAY ;

RAYMOND N VRTIS ;

MADHUKAR B RAO .

日本专利 :JP2022161979A ,2022-10-21

[3]

ケイ素含有膜の堆積のための組成物及びそれを使用した方法[ja] [P].

日本专利 :JP2017535077A ,2017-11-24

[4]

ケイ素含有膜の堆積のための組成物及びそれを使用した方法[ja] [P].

日本专利 :JP2019507956A ,2019-03-22

[5]

ケイ素含有膜の堆積のための組成物及びそれを用いた方法[ja] [P].

日本专利 :JP2019503590A ,2019-02-07

[6]

酸化ケイ素膜の堆積のための組成物及び方法[ja] [P].

日本专利 :JP2019530235A ,2019-10-17

[7]

ケイ素前駆体化合物、ケイ素前駆体化合物を含むケイ素含有膜を形成するための組成物、及びケイ素含有膜を形成するための組成物を使用して膜を形成するための方法[ja] [P].

日本专利 :JP2024527743A ,2024-07-26

[8]

シロキサン組成物、及び前記組成物を使用してケイ素含有膜を堆積させるための方法[ja] [P].

日本专利 :JP2021527956A ,2021-10-14

[9]

ケイ素含有膜堆積のための組成物およびそれを用いた方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022537057A ,2022-08-23

[10]

ケラチン物質をケアするための組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2023553635A ,2023-12-25

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