共 50 条
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酸化物半導体装置及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200538314
申请日：
2019-08-08
公开(公告)号：
JPWO2020039971A1
公开(公告)日：
2021-04-08
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L29/872
IPC分类号：
H01L21/329
H01L21/336
H01L29/06
H01L29/12
H01L29/24
H01L29/78
H01L29/861
H01L29/868
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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