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表面を処理するための低温プラズマ装置[ja]
被引:0
申请号
:
JP20180549341
申请日
:
2017-03-21
公开(公告)号
:
JP2019511817A
公开(公告)日
:
2019-04-25
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H05H1/24
IPC分类号
:
A61L2/14
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
プラズマ処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2022105037A
,2022-07-12
[2]
プラズマ処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2025173686A
,2025-11-28
[3]
プラズマ処理方法、及びプラズマ処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019003483A1
,2019-07-04
[4]
プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理[ja]
[P].
日本专利
:JP7603117B2
,2024-12-19
[5]
プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理[ja]
[P].
GORDON WEN-YIN PENG
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
GORDON WEN-YIN PENG
;
AMBARISH (RISH) CHHATRE
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
AMBARISH (RISH) CHHATRE
;
DAN MAROHI
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
DAN MAROHI
;
TAMARAK PANDHUMSOPORN
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
TAMARAK PANDHUMSOPORN
;
IGNACIO (NACHO) CHAZARO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
IGNACIO (NACHO) CHAZARO
.
日本专利
:JP2023159242A
,2023-10-31
[6]
プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理[ja]
[P].
GORDON WEN-YIN PENG
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
GORDON WEN-YIN PENG
;
AMBARISH (RISH) CHHATRE
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
AMBARISH (RISH) CHHATRE
;
DAN MAROHI
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
DAN MAROHI
;
TAMARAK PANDHUMSOPORN
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0
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0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
TAMARAK PANDHUMSOPORN
;
IGNACIO (NACHO) CHAZARO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
IGNACIO (NACHO) CHAZARO
.
日本专利
:JP2025032248A
,2025-03-11
[7]
プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理[ja]
[P].
日本专利
:JP7333780B2
,2023-08-25
[8]
プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理[ja]
[P].
日本专利
:JP2021509770A
,2021-04-01
[9]
プラズマ処理表面上の組成[ja]
[P].
日本专利
:JP2022121519A
,2022-08-19
[10]
プラズマ処理表面上の組成[ja]
[P].
日本专利
:JP2019536838A
,2019-12-19
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