ＴＳＶ／ＭＥＭＳ／パワーデバイスエッチング用の化学物質[ja]

被引：0

申请号：

JP20160571169

申请日：

2015-06-17

公开(公告)号：

JP2017518645A

公开(公告)日：

2017-07-06

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/3065

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共 50 条

[1]

ＴＳＶ／ＭＥＭＳ／パワーデバイスエッチング用の化学物質[ja] [P].

日本专利 :JP6485972B2 ,2019-03-20

[2]

プラズマエッチングのためのパッシベーション化学物質[ja] [P].

日本专利 :JP2023542898A ,2023-10-12

[3]

腐食性化学物質のパッケージング用安定剤[ja] [P].

日本专利 :JP2018534377A ,2018-11-22

[4]

腐食性化学物質のパッケージング用安定剤[ja] [P].

日本专利 :JP6845845B2 ,2021-03-24

[5]

化学物質評価用のデバイス、および、化学物質評価方法[ja] [P].

日本专利 :JP7251725B2 ,2023-04-04

[6]

化学物質評価用のデバイス、および、化学物質評価方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018135572A1 ,2019-11-07

[7]

化学物質のスクリーニング方法[ja] [P].

日本专利 :JP5848885B2 ,2016-01-27

[8]

３Ｄ－ＮＡＮＤ用の高アスペクト比エッチングのための化学物質[ja] [P].

日本专利 :JP2024521260A ,2024-05-30

[9]

スラグ流の生成デバイス、前記生成デバイスを備えた化学物質の処理装置、スラグ流の生成方法、及びスラグ流を用いた化学物質の処理方法[ja] [P].

日本专利 :JP7720558B2 ,2025-08-08

[10]

化学物質の発癌性スクリーニング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005024020A1 ,2006-11-02

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