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荷電粒子測定装置及び荷電粒子測定方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20160030072
申请日
:
2016-02-19
公开(公告)号
:
JP6591309B2
公开(公告)日
:
2019-10-16
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
G01T1/17
IPC分类号
:
G01T1/18
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
荷電粒子装置および測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6595856B2
,2019-10-23
[2]
荷電粒子線装置及び電気抵抗測定方法[ja]
[P].
BIZEN DAISUKE
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HITACHI LTD
HITACHI LTD
BIZEN DAISUKE
;
KASUYA KEIGO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HITACHI LTD
HITACHI LTD
KASUYA KEIGO
.
日本专利
:JP2024123597A
,2024-09-12
[3]
放電電荷量測定方法及び放電電荷量測定装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5958318B2
,2016-07-27
[4]
試料帯電測定方法及び荷電粒子線装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2003007330A1
,2004-11-04
[5]
試料電位測定方法、及び荷電粒子線装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2011007517A1
,2012-12-20
[6]
粒子測定装置及び粒子測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7421968B2
,2024-01-25
[7]
粒子測定装置、及び粒子測定方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5770255B2
,2015-08-26
[8]
表面電荷分布測定方法および表面電荷分布測定装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5797446B2
,2015-10-21
[9]
表面電荷分布測定方法および表面電荷分布測定装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5609579B2
,2014-10-22
[10]
荷電粒子ビームの分解能測定方法及び荷電粒子ビーム描画装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6702127B2
,2020-05-27
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