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荷電粒子線装置及び電気抵抗測定方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230031156
申请日：
2023-03-01
公开(公告)号：
JP2024123597A
公开(公告)日：
2024-09-12
发明(设计)人：
BIZEN DAISUKE
KASUYA KEIGO
申请人：
HITACHI LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J37/22
IPC分类号：
H01J37/28
H01L21/66
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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