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金属酸化物膜及び半導体装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20180156015
申请日：
2018-08-23
公开(公告)号：
JP6553266B2
公开(公告)日：
2019-07-31
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/08
IPC分类号：
H01L21/363
H01L29/786
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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