共 50 条
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金属酸化物膜及び半導体装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20190124090
申请日：
2019-07-03
公开(公告)号：
JP6733015B2
公开(公告)日：
2020-07-29
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/363
IPC分类号：
C23C14/08
C23C16/40
H01L29/786
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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