半導体装置の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20140502163
申请日
2013-02-21
公开(公告)号
JPWO2013129229A1
公开(公告)日
2015-07-30
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/52
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013129279A1 ,2015-07-30
[2]
半導体装置及び半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7761181B1 ,2025-10-28
[3]
半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
YAMASAKI MASANAO ;
TABATA TOSHIHITO ;
TADANO AKIYOSHI ;
DOI SHINSUKE ;
KOBAYASHI TOSHIYUKI .
日本专利 :JP2025124488A ,2025-08-26
[4]
半導体装置製造方法及び半導体装置[ja] [P]. 
WASHIMI GAKU ;
IRIE MAKIKO ;
MIZUSAWA TATSUMA ;
UNO KAZUHIDE .
日本专利 :JP2024095337A ,2024-07-10
[5]
[6]
[7]
半導体装置及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015040784A1 ,2017-03-02
[8]
半導体基板および半導体基板の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016006663A1 ,2017-04-27
[9]
半導体基板および半導体基板の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7359399B1 ,2023-10-11
[10]
半導体装置およびその製造方法[ja] [P]. 
HIGA TOMOHIRO ;
SAKAI ATSUSHI ;
GOTO YOTARO .
日本专利 :JP2024024973A ,2024-02-26