共 50 条
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超小型加速器および超小型質量分析装置およびイオン注入装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20200070095
申请日：
2020-04-08
公开(公告)号：
JP7018090B2
公开(公告)日：
2022-02-09
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J49/00
IPC分类号：
G01N27/62
H01J49/06
H01J49/10
H01J49/14
H01J49/16
H01J49/42
H05H9/00
H05H13/04
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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