フォトレジスト用樹脂の製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20090541082

申请日：

2008-10-21

公开(公告)号：

JPWO2009063726A1

公开(公告)日：

2011-03-31

发明(设计)人：

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IPC主分类号：

C08F6/06

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共 50 条

[1]

フォトレジスト用樹脂、フォトレジスト用樹脂の製造方法、フォトレジスト用樹脂組成物、及びパターン形成方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2019181228A1 ,2021-04-01

[2]

フォトレジスト用樹脂組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012026465A1 ,2013-10-28

[3]

フォトレジスト用樹脂、フォトレジスト組成物および硬化物[ja] [P].

日本专利 :JP2025005535A ,2025-01-17

[4]

ポジ型フォトレジスト及び構造体の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2005050319A1 ,2007-06-07

[5]

樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

MASUYAMA TATSURO ;

SHIMADA MASAHIKO ;

ICHIKAWA KOJI .

日本专利 :JP2022008650A ,2022-01-13

[6]

フォトレジスト組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2015501954A ,2015-01-19

[7]

樹脂ペレットの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP5942280B1 ,2016-06-29

[8]

樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

MASUYAMA TATSURO ;

OKADA NATSUKI ;

ICHIKAWA KOJI .

日本专利 :JP2022008646A ,2022-01-13

[9]

樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022137093A ,2022-09-21

[10]

フォトレジスト組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2020516939A ,2020-06-11

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