学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20140532891
申请日：
2013-07-30
公开(公告)号：
JPWO2014034358A1
公开(公告)日：
2016-08-08
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C09K3/14
IPC分类号：
B24B37/00 C01F17/235 H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013125446A1 ,2015-07-30
[2]
研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013125445A1 ,2015-07-30
[3]
研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015098197A1 ,2017-03-23
[4]
研磨剤、研磨剤セット及び基板の研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2010143579A1 ,2012-11-22
[5]
研磨液、研磨液セット及び研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019182061A1 ,2021-03-11
[6]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013175857A1 ,2016-01-12
[7]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013175859A1 ,2016-01-12
[8]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015030009A1 ,2017-03-02
[9]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013175856A1 ,2016-01-12
[10]
スラリー、研磨液セット、研磨液、基体の研磨方法及び基体[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013175854A1 ,2016-01-12
12345