共 50 条
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薄膜トランジスタ、酸化物半導体膜及びスパッタリングターゲット[ja]
被引：0
申请号：
JP20170552420
申请日：
2016-11-22
公开(公告)号：
JP6613314B2
公开(公告)日：
2019-11-27
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L29/786
IPC分类号：
C01G23/00
C04B35/01
C04B35/453
C23C14/08
C23C14/34
H01L21/336
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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