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誘電体、誘電体を用いたキャパシタ、誘電体を用いた半導体装置、及び誘電体の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20090502482
申请日：
2008-02-04
公开(公告)号：
JPWO2008108128A1
公开(公告)日：
2010-06-10
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01G25/00
IPC分类号：
C23C16/40
H01L21/316
H10B12/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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