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RF電力損失を補償するためのシステムおよび方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20210573741
申请日
:
2020-05-27
公开(公告)号
:
JP2022536516A
公开(公告)日
:
2022-08-17
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H05H1/46
IPC分类号
:
H01L21/205
H01L21/3065
H01L21/31
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
RF電力損失を補償するためのシステムおよび方法[ja]
[P].
MATHEW DENNIS EVANS
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
MATHEW DENNIS EVANS
;
CRISTOFER ADDISON FLOWERS
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
CRISTOFER ADDISON FLOWERS
;
JOHN DREWERY
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
LAM RES CORP
LAM RES CORP
JOHN DREWERY
.
日本专利
:JP2025032156A
,2025-03-11
[2]
電力供給システム及び電力を形成するための方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2017512355A
,2017-05-18
[3]
状態遷移の後の反射電力を低減するためのシステムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2025509162A
,2025-04-11
[4]
自動車の高周波数漏洩電流を補償するためのシステム及び方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2015511476A
,2015-04-16
[5]
軟部組織を切除するためのシステムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2018510677A
,2018-04-19
[6]
加工チャンバの電極に予め歪ませたRFバイアス電圧信号を供給するための区分的RF電力システムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2020526007A
,2020-08-27
[7]
加工チャンバの電極に予め歪ませたRFバイアス電圧信号を供給するための区分的RF電力システムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2022058382A
,2022-04-12
[8]
同時に複数のRF発生器を較正するためのシステムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2025525374A
,2025-08-05
[9]
画像解像度を決定するためのシステムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2017516415A
,2017-06-15
[10]
レム状態および覚醒状態を指定するためのシステムおよび方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2022551816A
,2022-12-14
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