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ＲＦ電力損失を補償するためのシステムおよび方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240205069
申请日：
2024-11-26
公开(公告)号：
JP2025032156A
公开(公告)日：
2025-03-11
发明(设计)人：
MATHEW DENNIS EVANS
CRISTOFER ADDISON FLOWERS
JOHN DREWERY
申请人：
LAM RES CORP
申请人地址：
IPC主分类号：
H05H1/46
IPC分类号：
H01L21/205
H01L21/3065
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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