レジスト剥離液組成物[ja]

被引:0
申请号
JP20180529402
申请日
2017-06-05
公开(公告)号
JPWO2018020837A1
公开(公告)日
2019-05-09
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03F7/42
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
フォトレジスト除去剤組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024500368A ,2024-01-09
[2]
フォトレジストリムーバ組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021511531A ,2021-05-06
[3]
フォトレジストリムーバ組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021511419A ,2021-05-06
[4]
レジスト組成物及びレジストパターン形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025178109A ,2025-12-05
[10]
高機能溶液を用いたフォトレジスト剥離[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022078039A ,2022-05-24