冷却装置、及び画像処理装置[ja]

被引:0
申请号
JP20150129238
申请日
2015-06-26
公开(公告)号
JP6344323B2
公开(公告)日
2018-06-20
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03G21/00
IPC分类号
G03G21/16
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
冷却装置、及び、基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7630970B2 ,2025-02-18
[2]
冷却装置及び熱処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6742399B2 ,2020-08-19
[3]
熱処理装置及び冷却装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6238498B2 ,2017-11-29
[4]
冷却装置及び熱処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017163732A1 ,2018-08-09
[5]
熱処理装置及び冷却装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016080197A1 ,2017-04-27
[6]
冷却装置、及び、基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6353266B2 ,2018-07-04
[7]
冷却装置及び情報処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6627438B2 ,2020-01-08
[8]
処理液冷却装置および基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6586038B2 ,2019-10-02
[9]
処理液冷却装置および基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6654077B2 ,2020-02-26