有機金属化合物、有機金属化合物を含む薄膜蒸着用組成物、薄膜蒸着用組成物を用いた薄膜の製造方法、薄膜蒸着用組成物から製造される薄膜、および薄膜を含む半導体素子[ja]

被引：0

申请号：

JP20200199801

申请日：

2020-12-01

公开(公告)号：

JP7048710B2

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/316

IPC分类号：

C23C16/18 C23C16/455 H01L21/31

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共 50 条

[1]

金属化合物を含む薄膜蒸着用組成物、それを用いた金属含有薄膜の製造方法、およびそれを用いて製造された金属含有薄膜[ja] [P].

日本专利 :JP2025529153A ,2025-09-04

[2]

ヨウ素含有金属化合物およびこれを含む薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

KWONE YONG HEE ;

YOUNG JAE ;

JEON SANG YONG ;

BYUN TAE SEOK ;

LEE SANG CHAN ;

LEE SANG ICK .

日本专利 :JP2025003673A ,2025-01-09

[3]

ヨウ素含有金属化合物およびこれを含む薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7645296B2 ,2025-03-13

[4]

遷移金属化合物、その製造方法およびこれを含む遷移金属含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP6979032B2 ,2021-12-08

[5]

遷移金属化合物、その製造方法およびこれを含む遷移金属含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2019513753A ,2019-05-30

[6]

有機金属化合物、これを含む前駆体組成物、およびこれを用いた薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023535086A ,2023-08-15

[7]

有機金属化合物、これを含む前駆体組成物、およびこれを用いた薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7496028B2 ,2024-06-05

[8]

モリブデン化合物、その製造方法、およびそれを含む薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2024546124A ,2024-12-17

[9]

金属トリアミン化合物、その製造方法およびこれを含む金属含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7246929B2 ,2023-03-28

[10]

金属トリアミン化合物、その製造方法およびこれを含む金属含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2020517579A ,2020-06-18

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