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ガス処理方法及びガス処理装置[ja]

被引：0
申请号：
JP20190555043
申请日：
2019-09-25
公开(公告)号：
JPWO2020067181A1
公开(公告)日：
2021-01-07
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B01D53/047
IPC分类号：
C12M1/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
ガス処理方法及びガス処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6680960B1 ,2020-04-15
[2]
排ガス処理装置および排ガス処理方法[ja] [P]. 
MIYAZAKI KAZUTOMO ;
HOSOYA KAZUMASA ;
NAKAJO TAKAYUKI ;
KYOTANI TAKASHI .
日本专利 :JP2024155737A ,2024-10-31
[3]
活性ガス生成装置及び成膜処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020003344A1 ,2021-02-15
[4]
活性ガス生成装置及び成膜処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6542475B2 ,2019-07-10
[5]
活性ガス生成装置及び成膜処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018003002A1 ,2018-12-06
[6]
活性ガス生成装置及び成膜処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019138453A1 ,2020-04-02
[7]
活性ガス生成装置及び成膜処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017126007A1 ,2018-06-07
[8]
活性ガス生成装置及び成膜処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6719856B2 ,2020-07-08
[9]
活性ガス生成装置及び成膜処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6440871B2 ,2018-12-19
[10]
活性ガス生成装置及び成膜処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7019276B2 ,2022-02-15
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